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浙江晶盛:全自动单晶生长炉国内首创者

导读: 在国内“单晶生长炉”行业,浙江晶盛机电股份有限公司全自动单晶硅生长炉技术填补了国内空白,整机技术水平处于国内领先,其中全自动控制系统达到国际同类产品的先进水平。

  在国内“单晶生长炉”行业,浙江晶盛机电股份有限公司为业内人所熟知。这家专业研发、生产和销售半导体材料、太阳能光伏材料制备设备的国家级高新技术企业,主要产品为公司开发并拥有自主知识产权的ZJS系列9种规格的全自动晶体生长炉和2个规格的多晶硅铸锭炉。其中全自动单晶硅生长炉技术填补了国内空白,整机技术水平处于国内领先,其中全自动控制系统达到国际同类产品的先进水平。

  公司注重各类晶体设备的研发。2007年初,我国首台具有完全自主知识产权的全自动单晶生长炉在晶盛公司问世,填补了国内空白,其中单晶炉全自动控制系统达到国际同类产品的先进水平,结束了我国依赖进口的历史。近年来,公司承担了多项重大工业项目,并获有7项国家专利,其中发明专利4项;已受理国家专利6项,其中发明专利3项。公司产品在高端半导体企业和高端光伏企业中广泛使用,得到了用户的充分肯定与认可。

  “8英寸高效太阳能级硅单晶炉的研制及产业化”项目,是晶盛公司承担的电子信息产业发展基金项目,投资额达6000万元。这一项目,是晶盛公司在原有的半导体级的TDR85A-ZJS型全自动晶体生长炉产品的基础上,针对太阳能硅单晶的特点,对引晶、放肩、收尾等工艺进行了高效、节能特点的新设计,研制了满足缺陷要求和生产效率的最佳硅单晶冷却技术,快速长晶的水冷夹套热场技术以及实现了单晶炉大规模生产的网络管理,从而使产品在质量、生产效率、降低能耗以及科学高效管理等方面,更符合光伏级硅单晶的生产需求。

  项目的实施,提升了企业自主创新能力,增强了产品开发能力和生产工艺装备水平,加快缩短了与国际领先水平的差距,使产品性能和质量水平达到国外同类产品水平。项目执行期内,企业累计实现销售收入超过2.7亿元,上缴税金超过1950万元,净利润达6600多万元,同时,获授权实用新型专利3项,申请发明专利2项。

 

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