抛光
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TopCon光伏电池的碱性抛光和酸性抛光的区别
TopCon光伏电池为了提高光电转换效率,一般需要对硅片进行抛光处理,以去除硅表面的缺陷和杂质,生成平滑的表面,从而提高电池的能量转换效率。抛光能够使电池表面粗糙度变小,减少光反射,提高负载传输效率。
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硅片腐蚀和抛光工艺的化学原理
在半导体材料硅的表面清洁处理,硅片机械加工后表面损伤层的去除、直接键合硅片的减薄、硅中缺陷的化学腐蚀等方面要用到硅的化学腐蚀过程。下面讨论硅片腐蚀工艺的化学原理和抛光工艺的化学原理。
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