PECVD
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PECVD真空腔体是HJT电池生产所需关键设备，行业发展前景广阔
PECVD是制备薄膜光伏电池中非晶硅吸收层的关键工艺，而PECVD真空腔体则是PECVD工艺所需重要设备载体之一。真空腔体是指保证内部为真空状态的容器设备，当前在技术工艺要求不断升级背景下，多数先进工艺均需在真空或惰性气体保护条件下完成，因此，真空腔体应运而生，成为保证多种工艺顺利实施的关键设备
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管式PECVD如何应对大尺寸硅片
从156．75 mm到166 mm，大尺寸硅片已经悄然进入市场，硅片尺寸增大在电池片制造、组件封装等环节能够实现成本节约，据了解M6电池片各制程的工艺时间与M2制程时间相差不大，因此在电池制造过程中每片大约可降低0．05元成本
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