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冷氢化技术的发展史

2012-04-26 10:59

　　高纯原生多晶硅生产是太阳能光伏产业乃至半导体行业的关键环节，随着竞争压力和节能环保呼声的日益高涨，降低多晶硅生产过程中的能耗成为关键。而采用冷氢化代替此前的热氢化就是关键技术之一，目前已经成为行业的风向标。但是在此之前，冷氢化技术的发展也经历了很长的过程。

（1）1948年，联合碳素UCC的分公司林德气体为了找到一种合成TCS的方法而最先开发了冷氢化技术，但在当时生产TCS是为了制备有机硅而非高纯硅。

　　（2）1950~1960，林德公司在西维吉尼亚建了一个用冷氢化技术生产TCS的生产线；同时，他们发现用Si+HCl的方式（合成法）来生产TCS更加经济，于是就将冷氢化技术搁置。

　　（3）1973年，当第一次石油危机来临后，美国政府开始寻找石油的替代能源，太阳能就是其中之一，很多公司参与了与之相关的研究（包括多晶硅的生产），其中包括UCC。

　　（4）1977年，美国总统卡特授权美国航空航天署NASA寻找降低太阳能电池板生产成本的方法。此时，多晶硅的生产再次被提上议事日程。UCC当时介入了此事，便重新把硅烷技术（1971年发明）及冷氢化技术找出来，开始准备建立中试装置。

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