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走进去离子水的制备

  一般的自来水和普通的蒸馏水中都含有一些杂质离子如钠离子、钾离子、镁离子、钙离子、氯离子、硫酸根离子、碳酸根离子、硅酸根离子、氨分子等杂质,而硅片的清洗过程要求高纯度的水,这样才能达到硅片清洗的要求。如果用自来水或蒸馏水清洗硅片,不但不能洗干净,反而玷污硅片表面。因此冲洗硅片必须使用含离子少的高纯水,一般称为去离子水。目前制备去离子水采用离子交换树脂法和反渗透法制备。下面分别作一一介绍。

  1.离子交换树脂法

  离子交换树脂属于高分子聚合物,不溶于水的颗粒状固体物质。当离子交换树脂与含有各种离子的水接触时,一方面离子交换树脂吸附水中的离子,另一方面离子交换树脂把自身所含的离子释放出来进入水中,即发生了离子交换反应。因而称为离子交换树脂。

  (1)离子交换树脂的分类:

  阳离子交换树脂:强酸性阳离子交换树脂,如R-SO3H

                                  弱酸性阳离子交换树脂,如R-COOH

  阴离子交换树脂:强碱性阴离子交换树脂,如R=NOH

                                  弱碱性阴离子交换树脂,如R-NH3OH

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