MB线切割硅片工序操作规程

2012-06-20 10:54

　　四、搅拌浆料

　　根据切割晶棒的总长度用计算软件计算需要的乙二醇和碳化硅，填写在《搅拌浆料记录表》上。先用气泵将乙二醇抽入搅拌器中，然后将碳化硅缓慢均匀的倒入搅拌器中，连续搅拌4小时以上，用测流速专用工具测量其流速，时间在30~40分钟为合格。

　　五、切割前准备步骤

　　1、按F14，F6 将冷却水开关全部打开，在执行此命令前，要检查外界的冷却系统是否打开，并检查进水口水压在 2 - 4 bar。

　　2、检查切割线网上是否有跳线，并将跳线固定好。从机器中将所有掉落的晶片清理干净，并将线网下方的过滤网清洁。

　　3、按F15 检查右侧放线轮上的切割线的长度（》210km），如果长度不够，请更换新的足够长的线，同时要调整放线轮的参数（直径、线长--km）。按F15 检查左侧收线轮上线的长度（《430 km），如果长度已超出，请更换新的收线轮，同时要调整收线轮的参数（直径、线长--km），并在新的收线轮上预先绕上1km的线（手动执行）。（如出现收线轮线长的报警等，可将收线轮上的线长临时改为2km，待正常后，再将其改回正确的值。）。

　　4、检查小的导线轮，如果有损伤等情况时，可将其更换，正常切割10次左右后，将其更换。

　　5、将左、右侧的门关闭。

　　6、检查浆料供给是否正常（向前、向后）？

　　7、检查浆料罐浆料过滤器的压力（最大不要超过： 0.5 bar，否则要更换新的过滤袋）。

　　8、检查浆料的喷嘴是否被堵住？如果不是很干净，请将其清洗干净。

　　9、将所有工件的夹紧部位清洁，（较长晶棒的一侧紧靠活动轴承一侧），并将其锁紧。

　　10、检查冷却水的温度在切割时不要超过19ºC （按F14，àB1701）。检查柜内的冷却水系统的压力必须分别在：最低 5 bar； 2.5 bar； 5 bar. （冷却系统必须全部打开）。

　　11、按F11，F4 检查浆料的密度是否在范围内？（=1.65 ± 0.001kg/l）

　　12、按F11/S10 检查浆料的温度及其设定值 “Set” 是否正确（25.4°）

　　13、按F12 检查切割的工艺参数（是否为正确的切割过程参数）